当前位置：成都汉普升科技有限公司磁控溅射沉积成都真空设备厂家 surpass电磁耦合磁控溅射

　　●该设备为公司根据客户工艺需求定制，与某研究所国家重点实验室联合研制，先后获得奖励3项，用于固体润滑、防腐和超硬表面改性等领域，服务于科研和国家重大项目需求，具有多功能、高稳定的特点，欢迎各位联合研制。

　　●设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成，同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统，可根据客户使用需求定制。

　　●工件盘：导轨多工位行星工件盘2套（标准配置为12工位和24工位，可扩展数百件工件共同沉积），工件盘装夹移动小车一辆；

　　●特别说明：该设备为公司与中科院某所合作研制，获得国家科技进步、国家科技发明奖、机械工业科技进步一等奖和中科院重大设备专项等奖励，公司提供一揽子技术解决方案，同时与合作伙伴共享知识产权。

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