前些日子的芯片爱国潮里，被揪出来的国产镀膜设备依靠进口的问题，一度也是沸反盈天。日本的一家只要300多人的小公司 Canon Tokki，因在OLED镀膜范畴具有明显的技能优势而跃入人们的视界。作为镀膜职业从业十几年的一个一般技能业者，在看了连基本概念都弄错了的新闻报道之后，尽管很想付之一笑，但细心想了想之后，也不由汗毛直竖，国产镀膜设备究竟仍是差得远了点。

　　这个问题假如在十年之前，其实是很简略答复的，便是两个大类：物理堆积设备和化学堆积设备。现在这样答复也是没错的，但现在再这样答复就没办法把工作说清楚了，所以笔者想从使用范畴上分红以下几类：

　　传统光学器材（镜片、滤光片）所用的镀膜设备：单腔体或多腔体蒸腾式镀膜设备、溅射式镀膜设备；新资料范畴的柔性设备：卷对卷柔性镀膜设备；光通讯职业：离子束溅射镀膜设备；半导体及相似工艺：化学气相堆积设备；功用膜：多弧离子镀设备、溅射设备、蒸腾设备；玻璃工艺：溅射式接连线；其他的就得归到“工艺定制设备”这个规模里边了，例如车灯镀膜设备、太阳能的共蒸腾设备、光纤镀膜设备、太阳能管设备，等等。

　　传统光学镜片滤光片：在国内工业化的时刻大约开始于1995年左右，其时日日本的许多公司进入我国树立工厂，例如佳能、尼康、奥林巴斯。这些公司司带来的不仅仅是日本公司的产品输出，也带来了整个工业链向我国分散。其时镜片镀膜设备在我国超越10台的公司仅仅只要几家，设备简直悉数都是日本的shincron、昭和两个品牌。再过几年，德国的莱宝光学也进入我国商场，而且一出手便是直接抢占了较为高端的滤光片和光通讯商场。而这个时分国产设备声称：北有“北仪”，南有“南光”。假如在2005年左右比照国内设备和国外设备的差异，笔者以为2005年产的日本shincron设备，至今2018年能够甩国产设备至少10年。

　　镀膜设备就像其他许多精细设备相同，不仅仅是一个“机器”，它更像一个相似生态系统的杂乱组织，大体来分能够分红几个部分：

　　真空构成系统；发射源和堆积系统；堆积环境操控系统；监控系统；传动组织系统。当然，不同的设备对这些部分的区分都是不同的，但大都都逃不出这样的区分系统。

　　真空构成系统：先说泵，德国莱宝、英国爱德华、日本ULVAC、美国brooks、日本丸山真空、日本大阪真空，至少占了整个商场的7成比例，到本年（2018年）停止，笔者还没看到哪怕一台被以为中高档设备上运用我国品牌的真空泵。这些真空泵包括机械式旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵、冷泵。比较好的是分散泵，这几年看到我国制作的了，但相对来说技能含量较低。

　　发射源和堆积系统：热蒸腾系统制作简略，国产一向有才能制作。可是遍及运用的电子枪系统，至2014年还都是依靠进口，这几年看到了一些国产品牌，运用效果谈论纷歧。溅射式镀膜设备运用的DC或许MF、RF电源，国产的只适用于装修膜或功用膜工业，只要是光学膜工业，基本上溅射电源都仍是进口的，首要商场被德国AE和德国霍廷格所占有。离子束溅射所需的RF离子源，现在严峻依靠进口，美国plasma process group的RF源系统比较常见，国产的是一个都无，就连RF源上用的三层珊网都要依靠进口，16cm的每套挨近十万元，而这个东西，仍是个消耗品。

　　堆积环境操控系统：先说质量流量操控器（mass flow controller），现在比较高端的产品便是英国的MKS、荷兰的bronkhorst，中端的有泰朗、brooks、泰利德，毫无疑问也是进口产品。国产的能够在比较低端的设备上用用也算是前进了。再说真空计，作为真空系统有必要要有的丈量设备，德国inficon、英国爱德华、日本ULVAC简直垄断了我国商场，国产的各位上某宝或许阿里的网页上看看姿态（都不必看参数）就天然了解了。还有气体分析仪，首要是英国MKS、美国斯坦福、德国zirox的产品，国产的没有。

　　监控系统：这个更痛，说起来监控系统是镀膜设备的魂灵，用比较简略的话说，镀膜设备是个汤锅，你放了多少盐，自己能够尝一尝，不可就加。而镀膜设备里边，承认膜厚的监控设备精度就决议了这个设备的精度。例如光控系统，它能够直接丈量镀膜膜层厚度，现在国产设备的操控方法是晶控（晶控仪还大都是进口的），只要进口的高端设备才配光控，这就跟睁着眼睛下棋和蒙上眼睛下棋之间的差异。现在光控系统（可见光区域）比较老练的，德国zeiss、日本的朝日有一套系统，剩余的还有shincron和光驰都有自己品牌的光控，这几年台湾设备也开发了这个系统而且投入量产。国产光控系统有么？有的。可是其可靠性真实太差了。激光光控系统方面，首要仍是光通讯设备上用的，一般是美国vecoo产，近一两年也听说了国产开发的系统，可是其首要配件（激光器和光功率计）仍是美国进口的。

　　传动组织：这个还好，国产够用了，曾经的磁流体密封件都是进口的，近几年有国产的了，现已投入量产。

　　上面也说了，基本上一切的高端设备中心组件都是依靠进口的，那么换句话说，我从外国买东西，回来自己拼装不可么？这样的话，我照样能够具有一家高品质设备制作企业呀！

　　镀膜设备系统的构架，外表看上去便是一个主动化问题，PLC操控各个组件，加一个工控电脑做图形化界面就能够了。可是，镀膜是一个门槛比较高的职业，这个门槛实践上体现在根底工程师的技能水平。一个好的工程师，运用手动设备能做出来的产品有时分比一个差的工程师运用主动设备做出来的还要好一些，所以规划制作镀膜设备系统的人，对镀膜了解的程度决议了这个设备的规划结构的先进性。

　　但现实是：国内生产镀膜设备的企业，底子不注重工艺开发。我所见到的国产设备商，中心技能人员便是3、4人，一个担任机械规划，一个担任电路规划，一个担任主动化，一个担任工艺调试。

　　简略一句话讲，便是技能人员整合的渠道厚度缺乏，会主动化规划的不明白镀膜，会镀膜的不明白设备制作。所以做出来的东西，要么是100%拷贝进口设备，要么便是做出来的系统不三不四，不好用。

　　这还不是悉数，作为中心操控系统的光控，进口的光控系统是要依托一些光学原理算法进行操控的，而主动化方面的规划人员对这些底子不明白。一位业界的朋友告知笔者，假如有人能够把光控系统整合在设备制作中安稳运转，不管是二手设备创新仍是一手设备制作，这在现在的我国，都是具有肯定技能优势的，能发明很大的赢利。

　　作为整个职业从业人员的一份子：我痛在发展方向不明，无法触及国际高端镀膜技能范畴，只能吠影吠声。

　　整个职业痛在：产学研底子不成系统。大学里边的理论高手教师教授们，十分少触摸职业实践运用和制作，做出来的东西要么仅仅为了发论文，要么是为了忽悠经费，就凭实验室那些设备，诚心没看到能搞出来什么好东西。

　　而工业上：首要乐意出资研制的公司太少，其次即便出资研制，职业深度太浅导致研制打破太难，大都都仍是跟在美、日、德公司产品后边拷贝产品，而对方也看到了我们人傻钱多，成心诱导整个工业往低赢利的量产型设备上出资。例如美国的使用资料公司，最近十年在我国能够说赚得盆满钵满。

　　我国的镀膜工业，接受的是发达国家不要的低赢利工业，没有能获得打破。要想在国产镀膜设备和国产镀膜工业上有所打破，就现在看来短时刻内仍是没什么期望的。

　　可是最近十年左右，外资企业的技能分散相当程度上起了活跃的效果。比及出资方能有耐性又有整合才能的时分，比及国内中坚人才厚度到达必定程度之后，比及校园的教授们能真实拿出来能够展现的产品而非论文的时分，我国镀膜职业也就离起飞不远了。