金融界2023年12月23日消息，据国家知识产权局公告，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“真空镀膜方法“，公开号CN117265511A，申请日期为2023年9月。

　　专利摘要显示，本申请公开了真空镀膜方法。真空镀膜方法包括将基材放入工艺腔体；向工艺腔体控制输入已加热的惰性保护气；至基材被加热至预设温度，在已加热的惰性保护气和工艺气体之间进行切换、向工艺腔体控制输入工艺气体对基材进行镀膜。通过向工艺腔体内控制输入已加热的惰性保护气，能够采用已加热的惰性保护气动态流经工艺腔体以热对流方式对基材进行加热，不仅能够有效缩短将基材加热至预设温度的时间，提高生产效率，并且能够提高加热温度的均匀性，以及减少基材的热敏变形，从而提高镀膜质量。